阿斯麥和臺積電有能力癱瘓制造芯片的機器。”彭博社5月21日援引兩名消息人士的話稱，有美國官員就大陸攻臺的后果私下向荷蘭和中國臺灣官員表達擔憂。不過，光刻機制造商阿斯麥向荷蘭官員保證，可以遠程癱瘓（remotely disable）相應機器，包括最先進的極紫外光刻機（EUV）。
兩位不愿具名的消息人士稱，中國臺灣生產了全球絕大多數的先進芯片，因此美國政府私下向荷蘭及臺當局官員表達了對臺海沖突的憂慮
另兩名消息人士稱，荷蘭政府與阿斯麥就這一問題進行商討時，阿斯麥向官員保證，該公司有能力遠距停止機器運作，他們已就可能發生的戰事進行模擬，以便妥善評估風險。
光刻機和一些高精度設備一樣，需要頻繁維護，隨著技術提高，現在很多設備廠家可以提供遠距離服務。像機床用戶的數據隨時實時傳遞給設備廠家，設備廠家進行實時監控，如果發現問題，設備廠家可以和用戶觀看同一操作界面，進行故障排除。這本來是高效率和及時幫助客戶解決問題，并降低維護成本的方法，但同樣也可以用到遠距離監控和控制用戶。
設備廠家如果背著用戶留后門，那么就可以在特殊情況下遠距離癱瘓，甚至破壞設備(比如發送一個超過設備負載的極高輸出指令)。既然ASML這么說，那國內目前購買的ASML的設備也許都存在這樣用戶不知道的后門。如果真是這樣，這是很嚴重的問題，ASML不僅可以癱瘓臺積電，同樣可以癱瘓在中國大陸的光刻機。
應對遠程癱瘓，最簡單的辦法就是物理隔離，而且很多工廠本身就使用工業內網，在完全物理隔離的狀態下，無法進行遠程癱瘓。
不過，如果ASML真要癱瘓特定晶圓廠的光刻機，沒必要搞遠程癱瘓。其實只要不提供技術服務，以及原料廠商斷絕耗材供應，晶圓廠就會陷入大麻煩。
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